IE가 어른이 되기까지

이번 글에서는 산화까지 완료된 웨이퍼 위에 필요한 물질을 덮는 Deposition (증착) 공정에 대해 알아보겠습니다. Deposition 공정이란 ? Deposition(증착) 공정이란 웨이퍼 위에 반도체 소자 구동을 위해 필요한 물질을 얇은 두께의 박막(Thin Film) 형태로 덮음으로써 전기적인 특성을 갖게 하는 공정입니다. 이때, 필요한 물질을 물리적인 방법으로 증착을 하면 PVD(Physical Vapor Deposition), 화학적인 방법으로 증착하면 CVD(Chemical Vapor Deposition)라고 하는데요 이번 글에서는 PVD(Physical Vapor Deposition)에 대해 알아보겠습니다. Thin Film 평가 요소 Deposition 공정에 있어서는 Thin Film..